半导体晶圆氮气柜的耗电功率低,主要归功于其高效节能的设计和工作原理,以下是主要原因:

智能控制与精准调节

湿度控制技术:半导体晶圆氮气柜采用智能控制系统,能够根据设定的湿度值自动调节氮气的充入和停止。当柜内湿度达到设定值时,系统会自动切断氮气供应,仅在湿度超标时才重新启动氮气供应。这种精准的控制方式避免了氮气的无谓浪费,同时也降低了设备的运行功率。

低能耗组件:氮气柜通常采用低功耗的传感器、电磁阀等组件,这些组件在运行时消耗的电能较少,进一步降低了整体功耗。

高效的工作原理

氮气置换原理:氮气柜通过充入高纯度氮气,逐渐置换柜内的空气,从而降低湿度和氧含量。这一过程本身不需要高功率的设备支持,主要依靠氮气的流动和置换,因此能耗较低。

无持续加热或制冷需求:与一些需要持续加热或制冷的设备不同,氮气柜通过氮气的置换来维持低湿度环境,无需额外的加热或制冷系统,从而大大降低了能耗。

节能设计与优化

密封性能优良:氮气柜的柜体采用高质量的密封材料和设计,确保氮气不会泄漏,同时防止外界空气进入。良好的密封性减少了氮气的消耗,也降低了设备的运行频率,从而降低了功耗。

优化的气路设计:氮气柜的气路设计合理,能够确保氮气均匀分布,快速降低湿度,同时避免了因气流不均导致的额外能耗。

低功耗的显示与监测系统

LED显示与低功耗传感器:氮气柜通常配备低功耗的LED显示屏和高精度的温湿度传感器,这些设备在运行时消耗的电能较少,同时能够提供精确的环境数据。

整体节能效果显著

减少氮气浪费:通过智能控制和优化设计,氮气柜能够显著减少氮气的使用量,降低氮气生产所需的能源消耗。

降低冷却需求:由于氮气柜运行时产生的热量较少,对洁净室的冷却需求也相应降低,进一步节约了能源。

综上所述,半导体晶圆氮气柜通过智能控制、高效的工作原理和优化的设计,实现了低功耗运行,同时能够为晶圆提供稳定的存储环境。

产品容积 内径尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板数量 开门方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 单开门
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 单开门
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下双开门
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右双开门
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右双开门
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下双开门
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三开门
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四开门
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四开门 / 六开门
湿度范围 1% - 60% RH 可调节 显示精度 温度:±1℃ 湿度:±3%RH
进气压力 0.2 - 0.4 MPa 节氮模组 多点供气系统,SMC节氮模组

氮气柜