氮气柜在保护晶圆Wafer方面具有重要作用，以下是其深度解析：
提供惰性气氛
防止氧化：氮气是一种惰性气体，化学性质稳定，不易与其他物质发生反应。在氮气柜中，高纯度的氮气（通常要求达到99.99%以上）能够有效隔绝晶圆与外界空气的接触，减少晶圆表面的氧化。
减少化学反应：氮气柜内充满纯净的氮气，减少了氧气和其他有害气体的存在，从而防止晶圆与其他材料发生化学反应，保护晶圆的完整性。
控制湿度
低湿度环境：氮气柜内的湿度通常能够控制在10%RH以下，甚至可以达到1%RH以下。低湿度环境能够有效降低晶圆表面的水分含量，防止水分对晶圆的氧化和腐蚀，保持晶圆的稳定性和可靠性。
防止湿敏元件失效：对于湿敏元件，低湿度环境可以避免其吸湿后性能下降，甚至失效。
保持洁净环境
无尘环境：氮气柜能够提供一个无尘的环境，防止空气中的微粒和污染物对晶圆造成污染。这对于保证晶圆的纯净度和质量至关重要。
高效过滤：洁净氮气柜通常配备高效过滤器（如HEPA过滤系统），以确保柜内空气的洁净度达到ISO Class 5或更高。
防静电措施
防静电保护：晶圆芯片对静电敏感，氮气柜采取了一系列防静电措施，如设立静电地板、接地装置和静电屏蔽等。这些措施可以有效防止静电对晶圆芯片造成损害。
提高存储寿命
延长使用寿命：在低氧、低湿度、低污染的环境下，晶圆的氧化和腐蚀速度会减缓，从而延长其使用寿命。
减少压电效应：高浓度的氮气可以减少压电效应的发生，从而稳定芯片的性能。
稳定存储环境
温度控制：虽然部分氮气柜不直接调节温度，但环境温度应保持在22±2℃，相对湿度40%-60%，以确保晶圆品质。
均匀供气：氮气柜通过多点供气系统，确保柜内氮气分布均匀，避免死点死角。
智能化与节能环保
智能控制系统：配备微电脑智能控制系统，可设定湿度、自动切断氮气供应，节约氮气。
节能环保：氮气消耗量降低40%，新型分子筛材料的使用寿命延长至5年以上。
定制化与安全性
定制化服务：根据存储物品的尺寸和数量，选择可定制隔板设计和尺寸的氮气柜。
安全功能：具备氮气泄漏报警、超压保护、紧急停机等功能。
通过以上措施，氮气柜能够有效地保护晶圆免受氧化、潮气、污染和静电等不利因素的影响，从而确保晶圆的质量和可靠性。
| 产品容积 | 内径尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板数量 | 开门方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 单开门 |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 单开门 |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下双开门 |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右双开门 |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右双开门 |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下双开门 |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三开门 |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四开门 |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四开门 / 六开门 |
| 湿度范围 | 1% - 60% RH 可调节 | 显示精度 | 温度：±1℃ 湿度：±3%RH | |
| 进气压力 | 0.2 - 0.4 MPa | 节氮模组 | 多点供气系统，SMC节氮模组 | |
