智能百级烤箱是一种集高洁净度、精准温控、自动化操作于一体的高端设备,广泛应用于半导体、电子、生物医药等领域。以下是其独有的优势和特点:
高洁净度
高效过滤系统:配备H13级高效空气过滤器(HEPA),过滤效率高达99.97% - 99.99%(针对0.3微米颗粒),能够有效净化箱内空气,确保内部洁净度达到Class 100标准。
自净化循环:通过强制水平送风循环系统,热风经过HEPA过滤后均匀吹入箱内,再循环至风道,实现高温环境下的自净化。
无尘设计:内胆采用SUS304镜面不锈钢材质,经碱性苏打水清洁,去除油污,避免烘烤过程中产生颗粒。
精准温控
智能温控系统:采用PID智能温控仪,控温精度可达±0.1℃,具备自动恒温、超温抑制、传感器断线报警、断电记忆等功能。
温度均匀性:通过特殊风道设计和强制循环系统,确保箱内温度均匀性良好,温度偏差控制在±2℃以内。
程序控制:支持定值和多段程序升温控制,可满足复杂工艺需求。
自动化与智能化
触摸屏操作:配备智能PLC触摸屏人机界面,支持定值/多段可编程运行,可实现在线时间显示、数据记录、曲线显示,甚至与MES系统联网对接。
自动化保护:内置超温保护、漏电保护、风机过载保护等多重安全机制,确保设备运行安全。
充氮功能(选配):部分设备支持充氮系统,可将箱内含氧量降低至200ppm以下,适用于对氧化敏感的工艺。
节能环保
高效保温材料:采用100毫米厚的高密度硅酸铝纤维或耐高温玻璃纤维保温材料,隔热性能好,降低能耗。
气体回收技术:部分设备配备气体回收系统,可降低氮气等惰性气体的消耗。
耐用性与可靠性
坚固结构:箱体采用1.2 - 1.5毫米厚的冷轧钢板或不锈钢材质,经氩弧焊加工,密封性好,机械强度高。
长寿命加热元件:采用不锈钢U型加热管,使用寿命可达5万小时。
适用范围广
智能百级烤箱适用于多种行业,包括:
半导体制造:用于硅片、砷化镓等材料的预处理烘烤、坚膜烘烤和高温烘烤。
电子行业:用于电子元件的干燥、固化。
生物医药:用于药品、医疗器械的干燥和灭菌。
精密机械:用于精密零件的无尘烘干。
总结
智能百级烤箱凭借其高洁净度、精准温控、自动化操作和节能环保等特点,成为高端制造业和科研领域不可或缺的设备,能够显著提升产品质量和生产效率。