产品用途
MOL-2DS双仓独立运行洁净烤箱主要用于FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料的无尘烘干和固化,如BPO胶、PI胶、BCB胶的固化,以及IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别)等的封装后烘烤。此外,它还可用于电工产品、材料、零部件等在高温洁净和无氧环境中的干燥和老化试验。
技术参数
工作室尺寸:400mm(宽)×350mm(深)×500mm(高)。
总消耗功率:3KW。
洁净度:Class 100(立方英尺内≥0.5μm尘粒≤100,立方米内≥0.5μm尘粒≤3520)。
容积:140L。
温度范围:RT+20℃~+250℃。
升温时间:30分钟以内(室温~+250℃)。
温度波动度:±0.5℃。
温度均匀度:200℃时误差为±3℃。
隔板:2层。
工作室材质:SUS304#不锈钢。
外壳材质:SUS304#不锈钢。
隔热材料:玻璃棉。
加热器:覆套式电热器。
进气口:φ6mm(可接氮气或洁净空气)。
出气口:φ5mm自动开启排风门。
温度调节方式:PID控制方式。
温度运转方式:定值运转,程序运转。
温度设定范围:0~+250℃。
温度设定方式:数字式。
温度显示方式:LED数字显示。
温度传感元件:K型热电偶。
安全保护装置:包括输入断线检测功能、上限温度过热报警功能、蜂鸣器报警功能、自动温度过热防止功能、自动诊断功能。
定时功能:0.1~999.9H。
设备特点
高洁净度:采用耐高温高效过滤器(H.E.P.A过滤器),过滤等级可达Class 100。
无氧环境:通过充入氮气降低箱内氧气含量,含氧量可控制在100PPM以下。
温度控制精准:温度波动度小,控制精度高。
双腔体设计:上下两箱独立控制,可同时进行不同工艺的烘烤。
结构与材质:内胆采用SUS304镜面不锈钢板,外壁采用1.5mm厚度A3冷轧钢板,静电喷塑。
应用场景
该设备广泛应用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。它特别适合对洁净度要求极高的工艺,如Class 100级别的无尘环境。
安全保护措施
漏电断路器。
控制线路保险丝装置。
超温防止保护装置。
总结
MOL-2DS双仓独立运行洁净烤箱以其高洁净度、无氧环境、精准的温度控制和灵活的双腔体设计,满足了多种高精度工艺需求,是半导体、电子元件制造等领域不可或缺的设备。