百级烤箱的氮气系统在工艺中主要起到以下作用：

防止氧化

在高温环境下，许多材料容易与氧气发生氧化反应，导致材料性能下降或表面质量受损。氮气系统通过向烤箱内充入高纯度氮气，置换出箱内的空气，从而形成无氧环境，有效防止材料在高温烘烤过程中发生氧化。

例如，在电子元件的固化和干燥过程中，氮气可以保护敏感的电子材料不被氧化。

保持无尘环境

氮气系统与烤箱内的高效空气过滤器（HEPA）协同工作，进一步净化箱内空气，确保烤箱内部达到百级（Class 100）的洁净度。

这对于需要高洁净度的工艺，如半导体晶圆的封装、光刻胶的固化等，尤为重要。

辅助降温

在工艺结束时，开启氮气系统可以快速置换箱内热空气，加速烤箱的降温过程，减少冷却时间。

提高烘烤效率

氮气作为一种惰性气体，具有良好的热传导性能，能够提高烤箱内的热传递效率，使材料受热更加均匀。

保护设备

氮气的惰性特性可以防止设备内部在高温条件下发生腐蚀或氧化，从而延长设备的使用寿命。

控制湿度

氮气本身干燥，可以有效降低烤箱内的湿度，防止材料受潮。

应用场景

电子工业：用于干燥和固化印刷电路板（PCB）等电子元件。

半导体制造：用于晶圆封装、光刻胶固化等工艺。

材料科学：用于需要惰性环境的材料测试和加工。

通过以上作用，氮气系统在百级烤箱中为多种高精度工艺提供了必要的环境支持，确保产品质量和工艺稳定性。